《半導體潔凈環境用丁腈手套》團體標準正式發布

潔凈手套

在半導體材料整個產業鏈生產過程中非常重要，直接影響相關產業的品質，但是，由于國內半導體材料行業發展迅速，在買賣雙方品質技術要求上未達成統一標準，取樣測試要求參差不齊或缺失，給供方與客戶對產品的驗收造成一定困擾，而且時效性不好。為避免丁腈手套接觸設備表面造成二次污染，對丁腈手套的品質需要進行嚴格控制。目前，美國FDA發布ASTM D6319-10(2015) 《醫療檢查用丁腈橡膠手套的標準規格》，該標準規定了檢查項目、技術指標及各項的合格判定；《IEST-RP-CC005.3潔凈室用手套手指套測試標準》，其描述了程序測試手套和指套用于無塵室和其他控制環境，測試確定提供清潔、物理和化學的完整性和其他相關屬性。以上標準為我國制定該類型產品的技術標準提供了重要依據。而國內目前只有標準《GB 10213—2006一次性使用醫用橡膠檢查手套》，且規定了橡膠檢查手套的性能和安全性要求，但由于以上標準缺少抽樣方案和外觀檢驗項目，相關技術指標主要適用于醫用檢查方面的應用。而半導體材料潔凈環境中沒有明確和統一的關于丁腈手套的產品分類、技術要求(不透水性、液態顆粒數、非揮發殘留物、離子含量)、試驗方法、檢驗規則、包裝、標志、運輸、貯存等技術標準，為更好的幫助半導體材料潔凈環境選擇和規范使用丁腈手套，故結合現有此類標準的相關技術要求和參數，在其基礎上統籌優化后制定此標準。

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經過近三年的研究摸索，在半導體材料，液晶面板等行業積累了豐富的經驗；建立了潔凈手套的企業規范標準，而且對產品的品質檢測也有成熟的分析方法，客觀地反映不同等級手套的品質狀況，給使用部門提供重要的數據支持，因此建議將該產品制定技術規范，并補充國內標準空白，促進半導體材料行業共同進步。